세메스에서 10년 이상 연구원 등으로 근무한 A씨 등은 2018년 3월부터 지난해 12월까지 3년여간 세메스가 보유한 반도체 세정장비 기술을 이용해 같은 스펙의 장비 14대를 만든 뒤 도면 등 제작 기술과 장비를 중국에 유출한 혐의로 기소됐다. 이들은 세메스에 근무한 이력 등을 내세우며 1~2년 안에 같은 스펙의 장비를 제작해줄 수 있다며 투자자들을 모집한 뒤 세정장비 및 기술 유출 대가로 약 710억 원을 취득한 혐의를 받고 있다.
반도체 세정장비는 반도체 기판에 패턴을 조각하는 과정에서 발생하는 오염물질을 제거하는 장비로, 세정과정에서 발생하는 반도체 수율 불량을 줄이기 위해 고도의 기술력이 필요한 장비다. 황산이 포함된 고온의 액채로 세정하는 장비, 이송 로봇의 팔을 2개에서 4개로 늘려 세정 속도를 높이는 장비가 대표적인데, 이 같은 장비의 기술 정보를 집중적으로 유출해 형상과 치수가 사실상 동일한 제품을 만들어냈다.
A씨 등은 세메스에서 퇴직해 C 회사를 차린 뒤, 퇴사 시 관련 정보를 반납하지 않거나 협력업체 대표 등으로부터 기술 정보가 담긴 부품 자체를 받는 수법으로 설계도면, 부품 리스트, 약액 배관 정보, 작업표준서, 소프트웨어 등 거의 모든 기술을 빼낸 것으로 조사됐다.
이를 위해 세메스에 부품을 제작·납품하는 협력사까지 포섭해 전용 부품을 취득해 사용하기도 했다. 또 중국에 합작법인을 설립해 관련 기술을 모두 이전시키고 그 대자로 합작법인 지분 20%를 취득하기로 한 것으로 드러났다.
이들은 국정원 산업기밀보호센터의 첩보로 검찰 수사가 시작되자 하드디스크 및 휴대전화 등 관련 증거를 인멸하기도 했다.
세메스는 기술 개발 연구비 등으로 2188억 원을 투자했으며, 기술 유출에 다른 경쟁력 저하로 거래처 수주가 10%만 감소해도 연간 400억 원 이상의 손해가 발생하는 것으로 추산하고 있다.
김정아 기자 ja.kim@ilyo.co.kr
